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太阳能光伏扩散炉

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详细说明

    太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。 

技术指标:

可处理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm

外型形式:卧式1—4管结构

载片量:400片/管

扩散方式:闭管扩散、软着陆全封闭

工作温度:200℃—1300℃

恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±1℃

单点温度稳定性、重复性: ≤±1℃/24h

温度控制:5段控温

总功率:120KVA

送片装置:悬臂推拉舟,碳化硅桨*大载重17kg

气路系统:1—5路工艺气体/管

气体控制:进口MFC

控制方式:工控机、触摸屏

Thinnerwafers:180Um

Break rate:0.8%

方阻均匀度范围:片内±5%,片间±5%,批间±5%

 
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