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LED专用炉

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详细说明

    LED专用炉主要满足LED芯片制造行业,对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。 主要性能指标:

外型形式:卧式1—4管结构,水平炉管

外型形式:卧式1—4管结构,水平炉管

恒温区长度:≥600mm

硅片规格:适用于2—6英寸硅片以及碎片

恒温区精度:≤±1℃(在400—1000℃范围内)

单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h(在400—1000℃范围内)

温度过冲平衡:载料进炉,温度平衡到工艺时间,低于10分钟

工艺气体及控制:氮气、氧气,MFC或浮子流量计控制

气路系统气密性:1×10-7PaM3/S

送料机构:悬臂石英杆载料,手动

报警系统:工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警

控制方式:工控机总程控制、触摸屏控制

 
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