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井式真空炉

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    井式/立式真空炉主要用于半导体器件烧结、封焊,太阳能电池片烘干、焊接及金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的工艺 。

井式真空炉主要技术参数 

真空室工位数:1-3位

真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa

工作温度:<1000℃

充气的*高压强:0.3Mpa(可控)

不锈钢内胆:Φ150-Φ350x1300mm(用户自定)

恒温区:600-1200mm±1℃

控温方式:三点三段采用原装进口高精度控温仪

控温曲线:9段升降温/999小时

工作方式:自动或手动自由转换

单点精度:±1℃/24h

正压、负压均采用数字显示表

可多工位同时工作

 
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